產品介紹

1、真空互聯系統（LTS）：

        為了避免由于樣品表面污染而造成的改變與損傷，薄膜材料通常需要放置于真空環境中。只有在真空度優于10^-10Torr數量級的超高真空環境中，原子級干凈的表面才可能保持數小時，從而使得原子層生長、表面/界面控制和本征性質表征成為可能。

        真空互聯總體分成兩大類：直線真空互聯及RDC互聯。

        直線真空互聯通過直線超高真空管道將多個工作站互聯起來組成完整的薄膜制備、表征的原位系統。樣品小車在超過真空管道內直線運動，樣品小車上可裝載數個樣品或樣品托。采用磁力耦合機械手將樣品或樣品托真空互聯管道與工作站之間進行交互傳送。

        這樣，薄膜制備設備與各表征儀器設備之間實現了超高真空的互聯，從而實現樣品結構和器件性能的原位表征。并且，不同材料的薄膜沉積需要不同的薄膜沉積工藝，結合起來就可以制備出獨特的多層結構樣品。也就是說在本底真空優于10^-10Torr數量級的超高真空環境下，新鮮制備的樣品可以從生長室直接通過真空管道輸送到各個表征分析室，從而保護樣品表面免受氧化或與大氣暴露相關的其他結構或化學變化。

2、SSI真空互聯系統概述及特點：

2.1 樣品小車上基片（或樣品托）尺寸：18mm，2英寸，3英寸，4英寸

2.2 樣品小車上基片（或樣品托）數量：6-12可選

2.3 全自動或半自動或手動控制模式可選

2.4 不僅僅可是實現水平方向的互聯，也可以實現垂直方向的互聯

2.5 本底極限真空：優于10^-10Torr

2.6 Load-Lock樣品進樣烘烤、預清洗功能可選

2.7進樣室可選

2.8 系統烘烤形式：電熱帶或整體烘烤可選

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